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広島工業大学広島県・中国・四国

豊田(宏)研究室

工学部 電子情報工学科

教授 豊田 宏

研究内容

  • 薄膜形成技術
  • 微細加工
  • プロセスプラズマ計測
  • 光・電子デバイス

登録装置

装置の出典:it-hiroshima.ac.jp