ArF液浸露光（フッ化アルゴンエキシマ液浸露光）｜前工程 › リソグラフィ › 露光 › DUV露光（深紫外線露光） › ArF露光（フッ化アルゴンエキシマ露光）

ArF液浸露光（フッ化アルゴンエキシマ液浸露光）は、レンズとレジストを塗ったウェーハの間を純水で満たした状態でArF光を当て、パターンを転写する露光方式である。屈折率の高い水を挟むと実効的な開口数が上がり、波長193nmの光源を変えずに解像度を高められる。その代わり、水そのものの純度や温度、ウェーハ表面での液の振る舞いが新たな管理対象になる。