ダウンフローリンス｜前工程 › 洗浄・表面処理 › リンス（純水による薬液置換）

ダウンフローリンスは、リンス槽の中に下向きの純水の流れを作り、基板から離れた薬液や粒子を槽の外へ排出する工程である。純水を大量に流せば残る薬液は減るが使用量が増えるため、流量に頼らず、汚れた液が基板の近くに滞留しない流れの向きを設計する。排水と充填を繰り返すQDR（急速排水リンス）とは、液を流し続けて置換する点が異なる。