QDR（急速排水リンス）｜前工程 › 洗浄・表面処理 › リンス（純水による薬液置換）

QDR（急速排水リンス）は、リンス槽の液を一気に排水して新しい純水で満たし直す操作を繰り返し、ウェーハに残った薬液を置き換える工程である。流し続けるリンスと比べ、槽内の大量の液を短時間で入れ替えられる。一方、排水の間にウェーハ表面の状態が変わるので、水の使用量と薬液の残りに加えて、微細パターンを濡れた状態に保てるかが条件選びの軸になる。