スプレーリンス｜前工程 › 洗浄・表面処理 › リンス（純水による薬液置換）

スプレーリンスは、純水などをノズルから基板へ噴射して、表面に残った薬液や溶解物を洗い流す工程である。新しい液を表面に送り込み古い液を押し出すことで、薬液を次工程へ持ち出さないように置き換える。噴射を強めるほど置換は速くなるが、微細パターンや薄い基板に機械的な力がかかるため、両者の兼ね合いで条件を決める。