スプレーリンスとは
THEME 02 パターン形成 · 洗浄Spray Rinse
スプレーリンス（Spray Rinse）とは、純水などを基板へ噴射して、残った薬液や溶解物を洗い流す工程です。新しい液を表面へ供給し、古い液を排出して薬液を置き換えます。
強い噴射は液の置換を促しますが、微細パターンや薄い基板へ力を加えます。薬液の残りを減らす効率と、構造へ与える機械的な負荷を両立させます。
スプレーリンスの仕組み
Section titled “スプレーリンスの仕組み”工程と構造
スプレーリンスの工程では1、純水などを基板へ噴射して、残った薬液や溶解物を洗い流す工程です。新しい液を表面へ供給し、古い液を排出して薬液を置き換えます。
前後の工程と処理順
Section titled “前後の工程と処理順”薬液による反応を終えた後、スプレーでリンス液を供給します。装置や基板の回転と合わせて表面全体を洗い、乾燥へ進みます。洗浄反応を起こす薬液処理と、薬液を持ち出さないリンスは別の役割です。
管理する条件
Section titled “管理する条件”工程と構造
噴射の流量、圧力、角度、時間と液の清浄度を管理します。濡れにくい領域や深い構造では液の置換が遅く、表面だけがきれいでも残薬液がある場合があります。
スプレーリンス後に確認すること
Section titled “スプレーリンス後に確認すること”処理後は、表面や槽内の薬液濃度が十分に下がったか、粒子が再付着していないか、次の乾燥へ均一な液膜で渡せるかを確認します。流量を増やすだけでなく、液の置換経路とデッドスペースを見て、必要な純水量とリンス時間を決めます。
よくある質問（FAQ）
Section titled “よくある質問（FAQ）”スプレーリンスは何をする工程ですか？
純水などを基板へ噴射して、残った薬液や溶解物を洗い流す工程です。新しい液を表面へ供給し、古い液を排出して薬液を置き換えます。
どの段階で行いますか？
薬液による反応を終えた後、スプレーでリンス液を供給します。装置や基板の回転と合わせて表面全体を洗い、乾燥へ進みます。洗浄反応を起こす薬液処理と、薬液を持ち出さないリンスは別の役割です。
どこを管理しますか？
噴射の流量、圧力、角度、時間と液の清浄度を管理します。濡れにくい領域や深い構造では液の置換が遅く、表面だけがきれいでも残薬液がある場合があります。
比較・違いを学ぶ
Section titled “比較・違いを学ぶ”1件を表示
- 1SEAJ 半導体製造装置用語集seaj.or.jp ・ 2026年10月12日閲覧 ↩