ダウンフローリンスとは
THEME 02 パターン形成 · 洗浄Downflow Rinse
ダウンフローリンス（Downflow Rinse）とは、リンス槽に下向きの液流を作り、薬液や粒子を基板から排出する工程です。液の置換方向を管理して、汚染した液が基板の近くへ残るのを減らします。
大量の純水で置き換えれば残薬液は減りますが、液の使用量が増えます。流量だけを上げず、汚染物を排出しやすい槽と流れを作り、基板全体のリンスをそろえます。
ダウンフローリンスの仕組み
Section titled “ダウンフローリンスの仕組み”工程と構造
ダウンフローリンスの工程では1、リンス槽に下向きの液流を作り、薬液や粒子を基板から排出する工程です。液の置換方向を管理して、汚染した液が基板の近くへ残るのを減らします。
前後の工程と処理順
Section titled “前後の工程と処理順”薬液処理後の基板をリンス槽で処理し、新しい純水を供給しながら古い液を排出します。基板間と槽内の流れをそろえ、リンス後の乾燥へ渡します。
管理する条件
Section titled “管理する条件”工程と構造
供給と排出の流量、槽内の基板配置、粒子の再付着を管理します。流れが弱い場所では薬液の置換が遅れ、基板の位置による差が生じます。
ダウンフローリンス後に確認すること
Section titled “ダウンフローリンス後に確認すること”処理後は、表面や槽内の薬液濃度が十分に下がったか、粒子が再付着していないか、次の乾燥へ均一な液膜で渡せるかを確認します。流量を増やすだけでなく、液の置換経路とデッドスペースを見て、必要な純水量とリンス時間を決めます。
よくある質問（FAQ）
Section titled “よくある質問（FAQ）”ダウンフローリンスは何をする工程ですか？
リンス槽に下向きの液流を作り、薬液や粒子を基板から排出する工程です。液の置換方向を管理して、汚染した液が基板の近くへ残るのを減らします。
どの段階で行いますか？
薬液処理後の基板をリンス槽で処理し、新しい純水を供給しながら古い液を排出します。基板間と槽内の流れをそろえ、リンス後の乾燥へ渡します。
どこを管理しますか？
供給と排出の流量、槽内の基板配置、粒子の再付着を管理します。流れが弱い場所では薬液の置換が遅れ、基板の位置による差が生じます。
比較・違いを学ぶ
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- 1SEAJ 半導体製造装置用語集seaj.or.jp ・ 2026年10月12日閲覧 ↩