LTS（ロングスロースパッタ）｜前工程 › 成膜 › PVD（物理気相成長）・スパッタ › スパッタ

LTS（ロングスロースパッタ）は、ターゲットと基板の距離を長く取ることで、基板へ届く粒子を向きのそろったものに絞るスパッタ成膜である。斜めに飛ぶ粒子は途中で外れるため、穴の入口で遮られにくい粒子だけが届き、配線のバリア膜やシード膜をホールの底まで付けられる。その代わり基板に届かない粒子が増えて成膜速度が落ちやすく、底と側壁の必要膜厚を両立する条件を選ぶ。