RTA（急速熱アニール）前工程 › アニール・熱処理 › RTP（急速熱処理）
RTA（急速熱アニール）は、ランプの光でウェーハを1枚ずつ急速に高温まで加熱し、必要な反応が終わったら直ちに冷やす熱処理である。急速熱処理やランプアニールとも呼ばれる。不純物の活性化には高温が必要だが、高温に長く置くと不純物が拡散して接合が深くなる。温度は保ったまま加熱時間だけを短くしてこの2つを両立させる方法で、最高温度での保持をなくした形がスパイクアニールである。
分類上の位置
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RTP（急速熱処理）の下にある工程で、同じ分類にはほかの工程はない。
- スパイクアニール：スパイクアニールは、最高温度での保持をほぼ0秒にし、頂点に達したらそのまま降温に転じる急速熱処理である。