スパイクアニール｜前工程 › アニール・熱処理 › RTP（急速熱処理） › RTA（急速熱アニール）

スパイクアニールは、最高温度での保持をほぼ0秒にし、頂点に達したらそのまま降温に転じる急速熱処理である。温度の履歴が平らな天井を持つ台形から尖った三角に変わり、高温にいる時間が最小になる。これにより過渡増速拡散を抑え、浅く低抵抗の接合を作れる。ただし温度を下げすぎるとゲート電極のドーパントが活性化しきれず空乏化が起こるため、温度と時間の両方を調整する。