RTP（急速熱処理）前工程 › アニール・熱処理
RTP（急速熱処理）は、ランプでウェーハを直接照らし、秒単位で温度を上げ下げして行うアニール、酸化、CVDなどの工程の総称である。炉の壁ごと温める電気炉と違い、立ち上がりも冷却も速い。アニールでは高温にいる時間が長いほど不純物が広がるので、熱をかける時間を短くして浅い接合を保つことが大きな狙いになる。アニールに使う場合はRTA（急速熱アニール）と呼ばれ、さらに保持を詰めたスパイクアニールもある。
分類上の位置
Section titled “分類上の位置”工程の分類›前工程›アニール・熱処理› RTP（急速熱処理）
アニール・熱処理の下にある工程で、同じ分類にはほかに9工程がある。
- RTA（急速熱アニール）：RTA（急速熱アニール）は、ランプの光でウェーハを1枚ずつ急速に高温まで加熱し、必要な反応が終わったら直ちに冷やす熱処理である。
同じ分類の工程
Section titled “同じ分類の工程”活性化アニール、FGA（フォーミングガスアニール）、炉アニール（バッチ式熱処理）、レーザアニール、ミリ秒アニール、接合後アニール、PDA（成膜後アニール）、SPE（固相エピタキシャル成長）、マイクロ波アニール