接合後アニール｜前工程 › アニール・熱処理

接合後アニールは、貼り合わせた2枚を加熱し、接合面を永久的に結合させる工程である。誘電体と銅パッドを同時につなぐハイブリッド接合では、室温で押し当てただけでは誘電体どうしが弱く付いているだけで、銅パッドは誘電体よりわずかに低く仕上げてあるため、上下のパッドはまだ接していない。加熱で銅が膨張して初めてパッドが接触し、電気的な接続になる。下の層の素子を傷めないよう、加熱温度には上限がある。