SPE（固相エピタキシャル成長）｜前工程 › アニール・熱処理

SPE（固相エピタキシャル成長）は、下地の単結晶に接したアモルファス層や多結晶層を加熱し、融かさずに固体のまま単結晶へ戻す工程である。下地の結晶が種となり、同じ向きの結晶が界面から一層ずつ育つ。イオン注入でアモルファス化した層を、欠陥を抑えながら結晶に回復させる目的で使われる。液相や気相から原料を足すエピタキシャル成長と違い、新たな材料を加えずに既存の層を結晶化する。