マイクロ波アニール｜前工程 › アニール・熱処理

マイクロ波アニールは、マイクロ波をウェーハに照射し、材料自身に電磁波のエネルギーを吸収させて加熱する熱処理である。ランプや炉のように外から熱を伝える方法とは加熱の仕組みが違い、比較的低い温度でドーパントの活性化や結晶の回復を進められる。低温で済めば不純物の拡散や、すでに作った膜や構造への熱の影響を抑えられるため、かけられる熱の量が限られる工程で検討されている。