レーザアニール｜前工程 › アニール・熱処理

レーザアニールは、レーザ光でウェーハの表面だけを局所的かつ短時間に加熱し、すぐに冷やす熱処理である。ドーパントを活性化するには高温が必要だが、同じ熱でドーパントが動いて接合が設計より深くなる。ミリ秒以下で加熱を切り上げることで、熱が深部や周囲へ広がる前に活性化などを済ませる。微細化で接合を浅く保つ要求が強まるほど、この短時間の加熱が使われる。