炉アニール（バッチ式熱処理）｜前工程 › アニール・熱処理

炉アニール（バッチ式熱処理）は、多数枚のウェーハを炉に入れ、ロットごとまとめて同じ温度履歴を与える熱処理で、代表的な縦型炉では縦に立てた石英の反応管にウェーハを何十枚も積む。炉は昇温と降温に時間がかかり、1枚が受ける熱の総量は大きい。それでも100枚以上を一度に処理できるので1枚あたりの処理時間は短く、量産で使われる。1枚ずつ短時間で加熱するRTP（急速熱処理）とは、熱の総量と生産性の兼ね合いが逆になる。