SAC（自己整合コンタクト形成）｜前工程 › コンタクト形成（MOL）

SAC（自己整合コンタクト形成）は、ゲート電極の上面と側面を窒化シリコンの膜で覆っておき、酸化膜と窒化膜のエッチング速度の差を使って層間絶縁膜にコンタクト穴を開ける工程である。露光の合わせずれで穴がゲートにかかっても、窒化膜は削られにくいので穴は自然にゲートの間へ収まり、ゲートとの短絡を防げる。ゲートピッチが縮み、穴の周りに合わせずれ用の余白を取れなくなったことで必要になった。