アクティニック検査｜フォトマスク・レチクル › マスク欠陥検査

アクティニック検査は、露光に使うのと同じ波長の光でマスクを検査する方法で、EUV露光では波長13.5nmのEUV光でEUVマスクを調べる。EUVマスクには、多層膜の中に埋もれて表面に凹凸を作らないまま反射光の位相を乱す位相欠陥があり、表面形状を測る検査ではこれを見つけられない。露光と同じ光で調べることで、ウェーハに実際に転写される欠陥を検出できる。