EUVマスク検査、ファブ再認定でKLAと競合ACTISはLasertec売上の30.6%
Lasertecの2026年6月期の売上2,304億円のうち、EUVのパターン付きマスクを露光と同じ13.5 nmの光で検査するACTISは705億円で、30.6%を占めた1。同社は13.5 nmの光の検査機を、パターンを描く前のブランクスと、パターン付きマスクの両方に持つ。同社は、マスクショップには一通りACTISが入ったと説明し、次の伸びしろをファブ向けの需要とみている。ファブ向けの主な用途は、使用中のマスクを検査し直す再認定だ。
一方で、ファブの再認定はアクティニック検査だけの市場ではない。アクティニック検査とは、露光と同じ波長の光でマスクを見る検査を指す。KLAは、193 nmのDUV光でマスクを直接見る装置と、ウェーハに転写した像を調べるプリントチェック装置を、ファブの再認定向けに売っている。Lasertecは、2027年6月期の受注見通しの上限を、新しい高速機ACTIS A200HiTがファブの評価で良い結果を出した場合に置いている。
EUVマスク検査は、ブランクス、マスク製造、転写性の判定、ファブの4段で方式が分かれる
Section titled “EUVマスク検査は、ブランクス、マスク製造、転写性の判定、ファブの4段で方式が分かれる”この記事では、EUVマスクの検査を、ブランクス、パターン付きマスクの製造、欠陥が写るかの判定（レビュー）、ファブでの受け入れと再認定の4段に分けて見る。マスクができるまでの工程と各工程の供給元はEUVマスクの供給網に、Lasertecの検査機の系統はフォトマスクの入門にまとめた。ここでは各段で、13.5 nmの光、それ以外の光、ウェーハへの転写のどの方式を誰が売っているかを並べる。
ブランクスでは、Lasertecが13.5 nmの光で多層膜の中の位相欠陥を探すABICS E1202を2017年に、次世代のブランクス向けのABICS E3203を2024年12月に出した。同じ段には、同社のMAGICS M9750と4、KLAのFlashScanもある5。パターン付きマスクの製造では、LasertecのACTIS A1506とHigh-NA用のA3007が13.5 nmの光で、KLAのTeron 6xxがEUVと光露光用のマスクを検査する。
欠陥が写るかの判定では、ZEISSのAIMS EUV8が13.5 nmの光で露光機と同じ結像条件を再現する。TSMCは2023年、Lasertecとの共著の論文で、欠陥ごとにウェーハに印刷して3日近くかけていた判定の代わりに、1時間に80か所以上を判定できるAMRSを開発した9と報告した。
マスクショップではACTISを一度は通るとLasertecは説明する
Section titled “マスクショップではACTISを一度は通るとLasertecは説明する”Lasertecは2025年10月31日の決算説明会で、全てのマスクショップに装置が一通り入っている10と述べ、マスクショップでは必ず一度はACTISを通ると説明した。理由として同社は、ACTISでしか検出できない欠陥が多数あることを挙げる。TSMCとLasertecは2024年、TSMCのマスクショップがアクティニック検査で欠陥のないマスクを作り、N5やN3の量産を支えた11と報告している。
同じ説明会で、Lasertecは今のACTISの需要のほとんどがロジック向けで、マスクショップとファブの比率は五分五分か、ややファブが多いと述べた。DRAMについては、まだMATRICSが強いという。High-NA用マスクの要件が検査に何を求めるかはHigh-NAのマスク仕様で扱っている。
2026年6月期は、売上ではACTISが、受注ではMATRICSが多かった
Section titled “2026年6月期は、売上ではACTISが、受注ではMATRICSが多かった”Lasertecの2026年6月期の1on1 FAQによれば、売上2,304億円のうちACTISは705億円（30.6%）、13.5 nm以外の光で見るマスク検査機MATRICSは512億円（22.3%）だった。受注高2,375億円では順位が逆になり、MATRICSが772億円（32.5%）、ACTISが620億円（26.1%）だった1。両者を除く売上は、差し引いて計算すると1,087億円で、サービス売上586億円1を含む。半導体関連の売上の内訳は、マスク検査が80%弱、ブランクス検査が15%弱、ウェーハ検査が5%強だ。
2027年6月期について、Lasertecは受注高3,000億〜4,000億円を見込み、中央値を3,500億円とした12。上期のACTISにはマスクショップ向けと先端ファブ向けのA300を見込む。上限の4,000億円は、A200HiTがファブで良い結果を出し、追加の受注が入った場合を想定した値だという。
ファブの再認定では、KLAがDUV検査とプリントチェックを組み合わせる
Section titled “ファブの再認定では、KLAがDUV検査とプリントチェックを組み合わせる”KLAは、ファブでのマスクの品質をマスクを直接見る検査とプリントチェックの組み合わせ5で保つと説明する。直接見る検査にはファブ向けのTeron SL6xxを置き、受け入れ検査と定期的な再認定に使う。プリントチェック装置Ageraは、ウェーハに繰り返し写る欠陥を探し、COOを抑えて抜き取りの頻度を上げられることを特徴に挙げる。KLAは2022年の論文でも、ファブでの再認定を193 nmの検査装置とプリントチェックの組み合わせ13で満たすと述べている。
Lasertecは2025年10月の説明会で、ファブで取られている方法としてACTISでの検査とプリントチェックを挙げ、プリントチェックでは見逃しが必ず出るうえ、露光機を含む多くの装置を使うと主張した。ファブでACTISが一部にしか使われなかった理由について、同社はスループットによるCOOの高さを挙げ、A150の3倍の速さを持つA200HiTでこれを解消できると説明する。A200HiTの設計と感度の主張はACTIS A200HiTの入門記事とA200HiTの感度の記事で扱った。
Lasertecは2026年1月の説明会で、ファブ向けの需要がマスクショップ向けの数倍の規模になるかというアナリストの問いに、そう思っていると答えた14。2026年8月には、A200HiTをロジックのファブ全てに入れていく12と述べた。この見立てが当たるかは、顧客ファブでの評価と、その後の追加受注で分かる。ペリクルを付けたマスクで検査の手段が変わる事情は、EUVペリクルとマスク汚染にまとめている。レーザーテックの企業研究では、同社の事業全体を扱っている。
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- 1レーザーテック：2026年6月期決算1on1 FAQ、品目別の売上と受注高（2026年8月）ssl4.eir-parts.net abc
- 2Lasertec：ABICS E120の製品ページlasertec.co.jp ↩
- 3Lasertec：ABICS E320の製品ページlasertec.co.jp ↩
- 4Lasertec：MAGICS M9750・M9751の製品ページlasertec.co.jp ↩
- 5KLA：マスク検査装置とプリントチェック装置の製品一覧kla.com ab
- 6Lasertec：ACTIS A150の製品ページlasertec.co.jp ↩
- 7Lasertec：ACTIS A300シリーズの製品ページlasertec.co.jp ↩
- 8ZEISS：AIMS EUVなどマスクの転写性判定装置zeiss.com ↩
- 9
- 10レーザーテック：2026年6月期第1四半期決算説明会の書き起こし（2025年10月）ssl4.eir-parts.net ↩
- 11
- 12レーザーテック：2026年6月期通期決算説明会の書き起こし（2026年8月）ssl4.eir-parts.net ab
- 13
- 14レーザーテック：2026年6月期第2四半期決算説明会の書き起こし（2026年1月）ssl4.eir-parts.net ↩