ドライ現像は、露光後のレジストを液体の現像液で溶かす代わりに、プラズマなどの気相反応で露光部か未露光部の一方を気化させてレジスト像を作る工程である。液体を使わないため、乾燥時に細いパターン同士を引き寄せて倒す毛管力を避けられる。一方で、気相反応の選択性と除去量を細かく制御する必要があり、条件は現像後の線幅と欠陥で評価する。
工程の分類›前工程›リソグラフィ›塗布・現像›現像› ドライ現像
現像の下にある工程で、同じ分類にはほかの工程はない。
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