EBR（エッジビード除去）｜前工程 › リソグラフィ › 塗布・現像

EBR（エッジビード除去）は、スピン塗布でウェーハ外周に厚く盛り上がったレジストへ溶剤を吹き付け、縁の部分だけを溶かして取り除く工程である。中央の膜厚がそろっていても縁には厚い膜が残り、搬送中に剥がれてパーティクルになったり、マスクを近づける露光で接触を妨げたりするために必要となる。レジストの塗布直後に行い、除去幅を広げすぎるとチップを取れる領域が狭くなる。