ウェーハ外装検査｜検査・計測 › 欠陥検査

ウェーハ外装検査とは、ウェーハの端部、斜めに面取りされたベベル部、裏面を観察し、粒子・欠け・傷・膜の異常を調べる検査である。これらの部位の欠陥や汚れは回路面の検査では捉えられず、搬送や以降の工程で回路面へ影響することがある。曲面の端部と平らな裏面では見え方が違うため、照明と走査の方法を部位に合わせる。