ウェーハ外観検査（光学式全面検査）｜検査・計測 › 欠陥検査

ウェーハ外観検査（光学式全面検査）とは、ウェーハの表面・裏面・端面に光を当てて全面を走査し、傷・異物・ムラなどの異常を位置と大きさ付きで拾い出す検査である。小さな欠陥は後の工程で広がることがあるため、早い段階で座標を記録し、不良品が次の工程へ流れるのを防ぐ。記録された座標は、欠陥の正体を調べる欠陥レビューへ引き継がれる。