電子ビーム検査｜検査・計測 › 欠陥検査

電子ビーム検査とは、細く絞った電子線でウェーハ表面を走査し、返ってくる二次電子の量を明るさに置き換えた像から欠陥を探す検査である。二次電子の量は形だけでなく表面の電位でも変わるので、形では判別しにくい配線やコンタクトの導通不良まで像の明暗として現れる。光を使う欠陥検査に比べ、電気的なつながりの違いを見られる点が特徴である。