ウェーハ表面検査｜検査・計測 › 欠陥検査

ウェーハ表面検査とは、ウェーハの表面にレーザー光などを当てて走査し、異物（パーティクル）や微小な傷からの散乱光を検出して、その数・大きさ・位置を調べる検査である。パターンを形成する前のウェーハや成膜後のウェーハの清浄度を確かめ、異物を持ち込んだ工程や装置を早く見つけるために行う。検出した異物の位置は、正体を調べる欠陥レビューへ渡す座標になる。