気相ドーピング（RTVD/RVD）｜前工程 › 酸化・拡散 › 拡散

気相ドーピング（RTVD/RVD）は、ウェーハをドーパントガスに一定時間さらした後でガスを止め、表面に吸着した分子を拡散源にして急速熱処理（RTP）で不純物を内部へ入れる工程である。吸着量が少ないぶん供給量が限られ、低ドーズの浅い接合を作るのに向く。ガスで原料を届けるので、広い面や立体構造にもドーパントを行き渡らせられる。ただし熱で分布が広がるため、浅さと必要な濃度の両立が課題になる。