ISSG（その場水蒸気生成酸化）｜前工程 › 酸化・拡散 › 熱酸化

ISSG（その場水蒸気生成酸化）は、加熱したウェーハのある反応室の中で水蒸気を生成しながら酸化を進める、1枚ずつ処理する枚葉式の熱酸化である。多数枚をまとめて処理する炉の酸化は生産性が高いが、昇温と降温に時間がかかる。この方式は短時間で酸化を終えるため、数nmの薄い膜や溝の内壁の酸化で、ウェーハが受ける熱の総量（熱バジェット）を節約できる。