ラマン分光とは
ラマン分光（Raman Spectroscopy）とは、光を照射し、入射光と異なるエネルギーで散乱した光から材料の振動を調べる分析です。半導体の結晶、相、応力などに関係するスペクトルを測ります。
微小領域を分析できます。一方、ピークの変化には応力だけでなく温度や組成も影響するため、基準試料と条件をそろえて解釈します。
ラマン分光の仕組み
Section titled “ラマン分光の仕組み”レーザーを試料へ照射し、ラマン散乱の波数と強度を測ります。材料ごとの振動モードがピークとして現れ、位置、幅、強度の変化を分析します。1
XPS（X線光電子分光）が電子のエネルギーから表面化学を調べるのに対し、ラマンは振動に関する信号を使います。膜応力を求めるには、材料に合う校正とモデルが必要です。
前後の工程と、処理する順番
Section titled “前後の工程と、処理する順番”材料と目的に合わせて波長と光学系を選びます。基準を測って波数を校正し、試料の点または面のスペクトルを取り、ピークを比較します。1
測定光で試料が加熱されるとピークが変わります。照射出力と測定時間を変えて影響を確認し、蛍光背景と本来の信号も分けます。
処理後に確認すること
Section titled “処理後に確認すること”波長、出力、焦点、測定位置、波数校正、温度、ピークの位置と幅を管理します。
異なる材料のピークが重なる場合は、単一のピーク位置だけで判断しません。偏光と測定方向、基準試料、別の分析結果も利用します。
トレードオフ
Section titled “トレードオフ”空間分解能と信号の強さには制約があります。試料を変えない照射条件を確保し、知りたい深さと領域に合う分析を選びます。
よくある質問（FAQ）
Section titled “よくある質問（FAQ）”ラマン分光は何をする工程ですか？
光を照射し、入射光と異なるエネルギーで散乱した光から材料の振動を調べる分析です。半導体の結晶、相、応力などに関係するスペクトルを測ります。
どの段階で行いますか？
材料と目的に合わせて波長と光学系を選びます。基準を測って波数を校正し、試料の点または面のスペクトルを取り、ピークを比較します。
何を管理しますか？
波長、出力、焦点、測定位置、波数校正、温度、ピークの位置と幅を管理します。
比較・違いを学ぶ
Section titled “比較・違いを学ぶ”- XPS（X線光電子分光）── 前後の工程と仕組みを調べる
- 膜応力── 前後の工程と仕組みを調べる
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- 1ラマン分光の公式資料horiba.com ・ 2026年10月12日閲覧 ab