in-situ計測とは
THEME 05 検査・計測・歩留まり · 検査・計測In-situ Metrology
in-situ計測（In-situ Metrology）とは、基板を工程装置の外へ出さず、処理の場所で状態を測る方法です。膜厚や反応の進行を処理中に観測し、条件の調整や終点の判断へ使います。
搬送せず素早く測れますが、工程環境が計測へ影響します。直接測れる量とモデルで推定する量を区別し、外部の参照計測で関係を確認します。
in-situ計測の仕組み
Section titled “in-situ計測の仕組み”工程と構造
in-situ計測の工程では1、基板を工程装置の外へ出さず、処理の場所で状態を測る方法です。膜厚や反応の進行を処理中に観測し、条件の調整や終点の判断へ使います。
前後の工程と処理順
Section titled “前後の工程と処理順”装置内のセンサで光、温度、ガスや電気信号などを取得します。信号を測りたい状態へ対応付け、処理を調整したり、停止後の外部計測と照合したりします。
管理する条件
Section titled “管理する条件”工程と構造
センサの校正、装置内の窓や壁の汚れ、取得位置、処理との時間対応を管理します。センサ値と実際の膜の状態がずれると、誤った条件変更につながります。
in-situ計測後に確認すること
Section titled “in-situ計測後に確認すること”in-situ計測では1、処理と同じ時刻のセンサ信号、装置条件、推定した膜厚や反応状態、終点または補正判断を一緒に記録します。信号の変化が実際の基板状態を表すか、搬出後の参照計測で校正します。窓の汚れ、感度ドリフト、演算遅延を工程変動と分け、誤った停止や条件補正を防ぎます。
よくある質問（FAQ）
Section titled “よくある質問（FAQ）”in-situ計測は何をする工程ですか？
基板を工程装置の外へ出さず、処理の場所で状態を測る方法です。膜厚や反応の進行を処理中に観測し、条件の調整や終点の判断へ使います。
どの段階で行いますか？
装置内のセンサで光、温度、ガスや電気信号などを取得します。信号を測りたい状態へ対応付け、処理を調整したり、停止後の外部計測と照合したりします。
どこを管理しますか？
センサの校正、装置内の窓や壁の汚れ、取得位置、処理との時間対応を管理します。センサ値と実際の膜の状態がずれると、誤った条件変更につながります。
比較・違いを学ぶ
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- 1SEAJ 半導体製造装置用語集seaj.or.jp ・ 2026年10月12日閲覧 ab