DSA（誘導自己組織化）｜前工程 › リソグラフィ

DSA（誘導自己組織化）は、ブロック共重合体などの材料が相分離して自ら作る細かい周期構造を、下地に設けたガイドで向きと位置にそろえ、微細パターンとして使う工程である。露光の解像力だけに頼らず、材料の性質で細かい周期を得られる。一方で任意の回路形状を直接作ることはできず、ガイドの形成や追加の加工と組み合わせ、転写後の欠陥で評価する。