リソグラフィリワーク（レジスト剥離・再処理）｜前工程 › リソグラフィ

リソグラフィリワーク（レジスト剥離・再処理）は、露光後の検査で重ね合わせのずれや寸法の不良が見つかったウェーハから、レジストと反射防止膜（BARC）だけを取り除き、塗布と露光をやり直す作業である。下の層はまだ加工していないため、この段階で引き返せばウェーハを捨てずに先の工程へ進められる。エッチングの後では作り直しが利かないので、リワークの判断は現像後の測定で行う。