マルチパターニング（多重パターニング）前工程 › リソグラフィ
マルチパターニング（多重パターニング）は、1回の露光では解像できない細かいパターンを、同じ層で複数回の露光や加工に分けて作る技術の総称である。露光装置の開口数が1.35で頭打ちになった後も、既存の装置を組み合わせることで大掛かりな設備投資なしにより細かいパターンを得るために使われてきた。レジストを固定して重ねるLFLEや、膜の側壁を線に使うSADPが代表例で、工程数と誤差の累積が増える。
分類上の位置
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リソグラフィの下にある工程で、同じ分類にはほかに5工程がある。
- LFLE（リソ・フリーズ・リソ・エッチ）：LFLE（リソ・フリーズ・リソ・エッチ）は、1回目の露光と現像で作ったレジストパターンを化学処理や熱処理で溶けにくく固定し、その上に2回目のパターンを重ねてから、両方をまとめて下地へエッチングする多重パターニング方式である。
- SADP（自己整合ダブルパターニング）：SADP（自己整合ダブルパターニング）は、露光で作った芯の両側に膜の壁（スペーサ）を形成し、芯を取り除いて残った壁をマスクに下の層を加工することで、1回の露光からピッチを半分にする技術である。