熱リン酸SiNエッチ｜前工程 › エッチング › ウェットエッチング

熱リン酸SiNエッチは、加熱したリン酸系の薬液でシリコン窒化膜を溶かし、窒化膜だけを選んで取り去るウェット工程である。下地の酸化膜やシリコンを設計以上に薄くしないよう、周囲の材料との溶ける速さの差を利用する。薬液の温度や含まれる水分が変わると反応も変わるため、処理時間だけでは除去量が決まらず、残す膜の消耗も確かめて条件を決める。