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シード層フラッシュエッチング|前工程 › エッチング › ウェットエッチング

シード層フラッシュエッチングは、パターンめっきとレジスト剥離の後に配線と配線の間に残る薄い導電層(シード層)を、短時間のエッチングで除く工程である。SAPやmSAPではめっきの下地としてシード層が全面にあり、これを取らないと回路同士がつながったままになるため、配線を一本ずつ独立させるのに必要となる。時間が長すぎると厚くした配線の上面や側面まで削れるので、絶縁と配線寸法の両方から終点を決める。

工程の分類›前工程›エッチング›ウェットエッチング› シード層フラッシュエッチング

ウェットエッチングの下にある工程で、同じ分類にはほかに3工程がある。

この工程は、ビルドアップ基板の「ビルドアップ層1層分」、mSAP(改良型セミアディティブ法)の「mSAP(極薄銅箔を使う改良型)」、RDL(再配線層)形成の「セミアディティブ型RDL(6段)」、SAP(セミアディティブ法)の「SAP(セミアディティブ法)」の手順の一部として出てくる。

結晶異方性Siウェットエッチ、熱リン酸SiNエッチ、UBMエッチング