W2W（ウェーハ・ツー・ウェーハ）ハイブリッド接合｜後工程 › ボンディング › ハイブリッドボンディング

W2W（ウェーハ・ツー・ウェーハ）ハイブリッド接合は、2枚のウェーハの表面を向かい合わせて面ごと貼り合わせ、Cuパッドどうしと誘電体どうしを同時に接合する方式である。はんだバンプでは届かない密な結線を、ウェーハ全面にわたって一度に作れる。良品ダイを選んでから載せるD2W接合と違い、ウェーハ単位で丸ごと合わせるため、上下のチップの組み合わせは固定される。