NAURAとAMECのエッチング売上198億元超｜世界市場の12%超、本記事の計算

中国の装置メーカーの2025年の売上は、エッチングと成膜に厚い。エッチング装置の売上はAMEC（中微公司）が98.32億元、NAURA（北方華創）が100億元超だった。NAURAが年次報告で引く世界のエッチング装置市場は1,580億元で、2社の売上を足して計算すると12%超に当たる。成膜でも、NAURAの100億元超、Piotech（拓荆科技）のPECVDとALD、AMECのLPCVDを足すと159億元を超えた。

露光は、エッチングや成膜との違いが大きい。SMEE（上海微電子）が公式サイトに載せる露光装置は3系列で、扱う層は90 nmから280 nmまでだ。この記事は、KrFとi線の露光装置を売るCanonを比較の相手に選ぶ。中国勢と日本勢の製品分類が重なる洗浄・塗布現像・CMPは中国装置メーカーの入門記事で扱い、ここではエッチング、成膜、露光を掘り下げる。

AMECとNAURAのエッチング売上は、NAURAが引く市場規模の12%超に当たる（計算）

エッチングとは、膜をプラズマで削って回路の形を作る工程を指す。NAURAは年次報告で「権威ある機関」のデータとして、2025年の世界のエッチング装置市場を約1,580億元、集積回路の設備投資の18.5%とする¹。同じ報告で、NAURAのエッチング装置の売上は100億元を超えた。

AMECの2025年の売上は123.85億元で、うちエッチング装置が98.32億元だった²。売上の約8割がエッチングで、前年から35.12%伸びた。AMECの98.32億元にNAURAの下限の100億元を足すと198億元を超え、NAURAが引く市場規模から計算すると世界のエッチング装置市場の12%超になる。NAURAの値は下限なので、実際の比率はこれより高くなりうる。TELが引くGartnerのデータでは、TELのドライエッチング装置の世界シェアは2025年に23%だった³。

2025年の製品別売上は、エッチングでNAURAが100億元超、AMECが98.32億元、成膜でNAURAが100億元超、PiotechのPECVDが51.42億元、AMECのLPCVDが5.06億元、PiotechのALDが3.01億元だった。

AMECの売上の中身は、量産での採用を示している。AMECのCCPエッチング装置は2025年に1年で1,000を超える反応台を出荷し、累計の装機は5,000反応台を超えた。ICPエッチング装置は50社を超える顧客のラインで量産に使われ²、累計1,800反応台に達した。AMECは、海外の3 nmラインでもCCPエッチング装置を量産向けに販売したと書く。国内の主要顧客のラインでは、CCPとICPの両方でシェアが上がり続けている。

エッチングの方式の違いと、Lam Research、Applied Materials、TELの装置の分け方は3社のエッチング装置分類にある。AMECとNAURAのエッチング装置は、この3社の装置と同じ工程に入っている。

Piotechの売上の8割はPECVD

成膜は、ウェーハに絶縁膜や金属膜を付ける工程だ。NAURAは、2025年の世界の薄膜成膜装置市場を約1,870億元、集積回路の設備投資の22.0%とし¹、自社の成膜装置の売上は100億元を超えたと書く。NAURAはPVD、CVD、エピタキシー、ALD、めっき、MOCVDまで、成膜の方式を一通りそろえている。

Piotechは成膜の専業だ。2025年の売上は65.19億元で前年比58.87%増⁴、うちPECVDが51.42億元で約8割を占めた。PECVDは前年から75.27%伸び、先端メモリーと先端ロジック向けのONO積層膜などが顧客の検証を通って量産に入った。ALDは3.01億元、ハイブリッド接合装置は1.36億元だった。Piotechは、Gartnerの過去の統計としてCVD市場の約70%をApplied Materials、Lam Research、TELが占める⁴と書く。

AMECも成膜へ入ってきた。LPCVD装置の売上は2025年に5.06億元で、前年の3倍を超えた。成膜装置の累計出荷は300反応台を超えている。NAURAの成膜（下限100億元）、PiotechのPECVDとALD、AMECのLPCVDを足すと159億元を超え、NAURAが引く市場規模から計算すると世界の8%超になる。この合計には、Piotechのハイブリッド接合装置とAMECのほかの薄膜装置を入れていない。

NAURAは、工程の幅でApplied Materialsに近い

NAURAの2025年の売上は393.53億元で前年比30.85%増だった¹。エッチングと成膜でそれぞれ100億元を超え、炉、洗浄、イオン注入も持つ。NAURAによると、集積回路向け装置の売上は前年から50%超伸び、イオン注入などの新製品が売上を上乗せした。

1社でこれだけの工程を持つ構成は、AMECやPiotechのような専業とは違い、Applied MaterialsやTELに近い。NAURAは、2025年に国内でエッチング、成膜、熱処理、洗浄の国産化率が上がり続けたと書く。同じ報告で、国内の半導体装置の国産化率は全体としてなお低いとも書いている。NAURAは今後5年の国産化率の上昇を見込み、特色工程や化合物半導体の装置では参入企業が増えて競争が激しくなっていると書く。

SMEEの公式サイト掲載機は90〜280 nmの層を扱う

SMEEが公式サイトに載せる露光装置は3系列だ。SSX600は90 nm、110 nm、280 nmの層⁵を扱い、8インチと12インチのラインに使える。SSC800は110 nm以上を扱うKrF機⁶、SSB800は280 nm以上を扱うi線機で⁷、パワー半導体、アナログ、MEMSを用途に挙げる。SSC800の用途には、AI向けの高性能計算、DRAM・NAND、Micro LEDが並ぶ。波長を明記しているのは、SSC800とSSB800の2系列だ。

ASMLの液浸露光機NXT:2100iは、1回の露光で38 nm⁸まで解像する。SMEEの掲載機が扱う最も細い層は90 nmだ。この記事はSMEEの比較相手に、KrFとi線の露光装置を売るCanonを選ぶ。Canonが2025年に売った半導体露光装置はKrFが46台、i線が188台だった⁹。露光方式の違いはリソグラフィの解説にある。

関連ページ

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• 装置・品質AMAT・Lam・TELのエッチング装置分類
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• 企業研究企業研究：AMEC
• 企業研究企業研究：北方華創（NAURA）
• 企業研究企業研究：Piotech
• 企業研究企業研究：Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE)

出典

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1. 1
   北方華創（NAURA）：2025年年次報告、エッチング・成膜の売上と市場規模（2026年4月）static.cninfo.com.cn ↩abc
2. 2
   中微公司（AMEC）：2025年年次報告、エッチング装置売上と出荷反応台数（2026年3月）static.cninfo.com.cn ↩ab
3. 3
   TEL：2026年3月期決算説明資料、主要製品の世界シェア（2026年4月）tel.com ↩
4. 4
   拓荆科技（Piotech）：2025年年次報告、PECVD・ALDの売上とCVD市場（2026年4月）static.cninfo.com.cn ↩ab
5. 5
   SMEE：SSX600系列露光装置の製品情報smee.com.cn ↩
6. 6
   SMEE：SSC800系列（KrF）露光装置の製品情報smee.com.cn ↩
7. 7
   SMEE：SSB800系列（i線）露光装置の製品情報smee.com.cn ↩
8. 8
   ASML：NXT:2100iの仕様asml.com ↩
9. 9
   Canon：2025年決算、露光装置の台数（2026年1月）global.canon ↩