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MES(製造実行システム)とは

MES(製造実行システム)(Manufacturing Execution System)とは、工場の製造指示、仕掛品、工程実行、品質と履歴を管理する情報システムです。半導体ではロットや個片が、どの条件でどの工程を通ったかを記録します。

装置が動いていても、誤った工程やレシピを選べば製品の品質は保てません。一方、正しい履歴がなければ不良の発生範囲も追えません。

MES(製造実行システム)の仕組み

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構造と工程の関係
工程の実行と製品の履歴を結ぶロット A実行履歴子 A1子 A2工程・装置・レシピの版を記録対象材料・信号周辺材料
製品の分割と統合があっても識別の関係を保ちます。実行結果と状態を次の工程判断へ渡します。

製品の工程順と状態を管理し、実行可能な処理を装置や作業者へ指示します。処理結果、分割・統合、保留、検査結果を製品の履歴へ結びます。1

ディスパッチ(投入順序)は次に処理するロットを選ぶ判断で、MESと連携します。トレーサビリティは履歴から経路と影響範囲を追う能力です。

構造と工程の関係
保留と再処理も履歴の中で扱う処理前処理後次工程保留・確認対象材料・信号周辺材料
例外を記録せず工程を進めると追跡できなくなります。処理を許可する条件と実際の実行を一致させます。

製造指示を受け、工程と対象製品を確認します。処理開始と完了、品質結果と例外処置を記録し、次の工程へ進めるかを判断します。1

装置が出すデータと製品の識別を正しく結ぶ必要があります。ロットの分割や個片化では識別の粒度が変わるため、親子関係を保持します。

工程順、レシピの版、製品識別、実行履歴、保留状態、装置との連携を管理します。

記録漏れと重複、時刻のずれ、装置と製品の対応違いを確認します。履歴があるだけでなく、その記録が実際の処理と一致することが必要です。

工程を厳密に管理すると誤処理を防げますが、例外や再処理も扱う必要があります。許可と履歴を保ちながら、現場の実行に対応します。

MES(製造実行システム)は何をする工程ですか?

工場の製造指示、仕掛品、工程実行、品質と履歴を管理する情報システムです。半導体ではロットや個片が、どの条件でどの工程を通ったかを記録します。

どの段階で行いますか?

製造指示を受け、工程と対象製品を確認します。処理開始と完了、品質結果と例外処置を記録し、次の工程へ進めるかを判断します。

何を管理しますか?

工程順、レシピの版、製品識別、実行履歴、保留状態、装置との連携を管理します。

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    MES(製造実行システム)の公式資料siemens.com ・ 2026年10月12日閲覧 ab