MES(製造実行システム)とは
MES(製造実行システム)(Manufacturing Execution System)とは、工場の製造指示、仕掛品、工程実行、品質と履歴を管理する情報システムです。半導体ではロットや個片が、どの条件でどの工程を通ったかを記録します。
装置が動いていても、誤った工程やレシピを選べば製品の品質は保てません。一方、正しい履歴がなければ不良の発生範囲も追えません。
MES(製造実行システム)の仕組み
Section titled “MES(製造実行システム)の仕組み”製品の工程順と状態を管理し、実行可能な処理を装置や作業者へ指示します。処理結果、分割・統合、保留、検査結果を製品の履歴へ結びます。1
ディスパッチ(投入順序)は次に処理するロットを選ぶ判断で、MESと連携します。トレーサビリティは履歴から経路と影響範囲を追う能力です。
前後の工程と、処理する順番
Section titled “前後の工程と、処理する順番”製造指示を受け、工程と対象製品を確認します。処理開始と完了、品質結果と例外処置を記録し、次の工程へ進めるかを判断します。1
装置が出すデータと製品の識別を正しく結ぶ必要があります。ロットの分割や個片化では識別の粒度が変わるため、親子関係を保持します。
処理後に確認すること
Section titled “処理後に確認すること”工程順、レシピの版、製品識別、実行履歴、保留状態、装置との連携を管理します。
記録漏れと重複、時刻のずれ、装置と製品の対応違いを確認します。履歴があるだけでなく、その記録が実際の処理と一致することが必要です。
トレードオフ
Section titled “トレードオフ”工程を厳密に管理すると誤処理を防げますが、例外や再処理も扱う必要があります。許可と履歴を保ちながら、現場の実行に対応します。
よくある質問(FAQ)
Section titled “よくある質問(FAQ)”MES(製造実行システム)は何をする工程ですか?
工場の製造指示、仕掛品、工程実行、品質と履歴を管理する情報システムです。半導体ではロットや個片が、どの条件でどの工程を通ったかを記録します。
どの段階で行いますか?
製造指示を受け、工程と対象製品を確認します。処理開始と完了、品質結果と例外処置を記録し、次の工程へ進めるかを判断します。
何を管理しますか?
工程順、レシピの版、製品識別、実行履歴、保留状態、装置との連携を管理します。
比較・違いを学ぶ
Section titled “比較・違いを学ぶ”- ディスパッチ(投入順序)── 前後の工程と仕組みを調べる
- トレーサビリティ── 前後の工程と仕組みを調べる
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- 1MES(製造実行システム)の公式資料siemens.com ・ 2026年10月12日閲覧 ab