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AMHS（自動搬送システム）とは

THEME 09 工場と産業 · 装置部品・ファブインフラAutomated Material Handling System
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AMHS（Automated Material Handling System）とは、工場の中でFOUPを自動で運ぶ仕組みの総称です。 天井を走る搬送車、一時保管するストッカー、制御システムで構成されます。装置がいくら速くても次の容器が届かなければ止まるため、搬送が工場の生産能力を決めます。この要の装置を握るのは日本の2社で、2023年の搬送装置の企業シェアはダイフクと村田機械で98%に達します。

人手の搬送は、粒子と取り違えと人手不足を持ち込む

Section titled “人手の搬送は、粒子と取り違えと人手不足を持ち込む”

半導体の製造は何百工程にも及び、ウェハは複数の装置の間を工場の中で何百回も移動します。人が運べばそのつどパーティクルが持ち込まれ、取り違えの危険もあり、24時間動き続ける工場では人手が足りなくなります。ダイフクは、AMHSをクリーンルームの半導体生産工程で、24時間・365日、ウエハの工程間搬送を止めることなく稼働させるための保管・搬送システム1と位置づけています。

AMHSでは、天井に敷いたレールを搬送車が走り、装置のロードポートへ直接容器を下ろします。ダイフクは半導体生産ライン向けの天井モノレールシステムとしてCleanway、レチクル用としてReticle Cleanwayを製品化しています2。村田機械もクリーンFAの搬送システム3を手がけています。

天井を走らせれば、床は装置に使え、粒子もウェハから遠ざかる

Section titled “天井を走らせれば、床は装置に使え、粒子もウェハから遠ざかる”

天井を走らせる理由は2つあります。クリーンルームの床面積は費用そのものなので、装置を配置する場所を搬送路で削るのは避けたいところです。加えて天井は気流の下流側にあたるため、搬送車から出る粒子がウェハへ届きにくくなります。

天井で運び、ストッカーで待たせる
天井レールOHTFOUP処理装置ロードポートストッカー床
搬送車は天井のレールを走り、装置のロードポートへFOUPを直接下ろします。次の工程が空くまでの容器はストッカーの棚で待ち、床は装置と保管に残ります。

装置側の受け口では、ローツェのEFEM「ACE EFEM」は、新型のクリーンロボットと高速の直線走行軸で高速搬送を実現し、OHTおよびAGVとの接続に対応します4。

待つ容器は、窒素の中で表面の変化を抑える

Section titled “待つ容器は、窒素の中で表面の変化を抑える”

次の装置が埋まっていれば、容器はその分だけ待ちます。ダイフクの自動倉庫には、Clean Stocker、Zip Tower 30、窒素パージストッカーがあります2。待ち時間が長くなると、容器内のわずかな水分や酸素でウェハ表面が変化し、金属を露出した状態や洗浄直後の面では特に影響が出ます。容器内を窒素で置き換えれば、この変化を抑えられます。ダイフクは、微細化に対応した窒素パージ式の保管システム1を提供しているとしています。

待つあいだの容器の中
空気のまま待つ窒素で置き換えて待つ表面が変化窒素表面はそのままウェハ変化した表面水分・酸素
空気のまま長く待つと、容器内のわずかな水分や酸素でウェハの表面が変わります。容器内を窒素で置き換えておけば、待つあいだもこの変化を抑えられます。

何をどこへいつ運ぶかの判断が、稼働能力を左右する

Section titled “何をどこへいつ運ぶかの判断が、稼働能力を左右する”

搬送の順序と割り当ては制御システムが決めます。ダイフクはマテリアルコントロールシステムxMCS、メインコントロールプロセッサMCP7、ストッカースケジューリングシステムSSS2を製品化しています。同社は、生産設備の稼働率を最大化するソリューション1も提供しているとしています。どの容器をどこへ、いつ運ぶかという判断が、工場全体の稼働能力を左右します。

届く時刻と装置の稼働
間に合う遅れる装置が止まる時間処理次のFOUPが届く
次のFOUPが届くのが遅れると、そのあいだは装置がいくら速くても処理が止まります。

搬送装置の市場は、日本の2社がほぼ占める

Section titled “搬送装置の市場は、日本の2社がほぼ占める”

経済産業省の資料を並べ直すと、搬送装置はダイフクが70%、村田機械が28%で、日本の2社で98%になります。市場規模は1,444億円で、露光やエッチングと比べれば小さな装置群です。工場の稼働を左右する装置が、小さな市場で2社に集中している構図です。

ダイフクのクリーンルーム向けAMHSは半導体に限りません。同社は半導体、液晶パネル製造の自動化に欠かせないクリーンルーム向けAMHSを世界中のユーザーに納入しているとしています1。液晶向けでは第4世代から第10世代までの各世代のカセットサイズのガラス基板の搬送・保管に対応し、有機ELパネル向けのシステムも手掛けています1。

この用語に対応する装置と製造メーカー

Section titled “この用語に対応する装置と製造メーカー”

装置カタログDBから、この用語に一致する製品familyを持つメーカー 3社／3family を引いています。 各行は各社の公式製品ページを出典とします。 DBからの生成日: 2026-08-22

出典は各社の公式製品ページです。 装置カタログDB では、同じ製品familyを工程・メーカー横断で検索できます。

関連するデータ・ツール

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よくある質問（FAQ）

Section titled “よくある質問（FAQ）”
AMHSとは何ですか？

工場の中でFOUPを自動で運ぶ仕組みの総称です。天井を走る搬送車、容器を一時保管するストッカー、それらを制御するシステムで構成されます。

OHTとは何ですか？

天井に敷いたレールを走る搬送車です。床を空けたまま、人と動線が離れます。ダイフクは半導体生産ライン向けの天井モノレールシステムとしてCleanway、レチクル用としてReticle Cleanwayを製品化しています。

なぜ天井を走らせるのですか？

床を空けるためです。クリーンルームの床面積は費用そのものなので、装置を配置する場所を搬送路で削るのは避けたいところです。天井は気流の下流側でもあるため、粒子の影響も抑えられます。

ストッカーは何をしますか？

次の工程の装置が空くまで待つ容器を、清浄な状態で一時保管します。ダイフクの自動倉庫にはClean Stocker、Zip Tower 30、窒素パージストッカーがあります。

窒素パージとは何ですか？

容器の中を窒素で満たして保管することです。待ち時間が長くなると、容器内のわずかな水分や酸素でウェハ表面が変化します。窒素で置き換えれば、この変化を抑えられます。ダイフクは窒素パージ式の保管システムを微細化への対応と位置づけています。

搬送が生産能力を左右するのですか？

決めます。装置がいくら速くても、次の容器が届かなければ止まります。ダイフクはこの順序と割り当てのために、マテリアルコントロールシステムxMCS、メインコントロールプロセッサMCP7、ストッカースケジューリングシステムSSSを製品化しています。

比較・違いを学ぶ

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出典

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