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WLP(ウェーハレベルパッケージング)とは

WLP(ウェーハレベルパッケージング)(Wafer Level Packaging)とは、元のデバイスウェーハ、または個片ダイを再配置した再構成ウェーハで、複数のチップへパッケージ工程をまとめて行う製造方式です。ファンインとファンアウトで処理の出発点が異なります。

個片を一つずつ扱う工程を減らせます。一方、ウェーハ内のばらつきと端子配置、実装時の負荷を全チップで管理する必要があります。

WLP(ウェーハレベルパッケージング)の仕組み

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構造と工程の関係
ウェーハ上で端子をつなぎ替える絶縁層とRDLを一括形成分割する前のウェーハ対象材料・信号周辺材料
再配線と端子をウェーハ状態で形成し、後で個片化します。図は一つの構成例です。

ウェーハ上へ絶縁層と再配線、接合端子などを形成します。代表的なファンインWLPでは、チップの面積内で元の端子を基板接続用の配置へ移します。1

再配線層が端子の位置を変えます。ファンアウトパッケージは個片を再配置した再構成ウェーハなどを使い、端子をチップ外へ広げる方式なので区別します。

構造と工程の関係
ファンインとファンアウトを分ける面積内で端子を配置チップ外へ配線を広げる対象材料・信号周辺材料
元のウェーハで処理する方式と、チップを再配置して面積を広げる方式を区別します。

ファンインでは元のウェーハ上に絶縁、再配線と端子を作り、試験や薄化を経て個片化します。ファンアウトでは先にダイを個片化して再配置・封止し、再構成ウェーハへ再配線と端子を作って再び分割します。1

WLPは一つの膜構成の名前ではありません。チップ積層やシステムの集積を含む製品もあり、端子構造、絶縁材、薄化と試験の順番は構成ごとに確認します。

再配線の導通、端子の位置と高さ、絶縁、ウェーハ内の均一性、実装信頼性を管理します。

シリコンと実装基板の熱膨張の違いが接合部へ負荷を与えます。パッケージ工程での良品判定と実装後の信頼性を分けて確認します。

小さなパッケージにできる一方、面積内の端子配置と実装応力に制約があります。必要な入出力数と端子ピッチ、基板条件で方式を選びます。

WLP(ウェーハレベルパッケージング)は何をする工程ですか?

元のデバイスウェーハ、または個片ダイを再配置した再構成ウェーハで、複数のチップへパッケージ工程をまとめて行う製造方式です。ファンインとファンアウトで処理の出発点が異なります。

どの段階で行いますか?

ファンインでは元のウェーハ上に絶縁、再配線と端子を作り、試験や薄化を経て個片化します。ファンアウトでは先にダイを個片化して再配置・封止し、再構成ウェーハへ再配線と端子を作って再び分割します。

何を管理しますか?

再配線の導通、端子の位置と高さ、絶縁、ウェーハ内の均一性、実装信頼性を管理します。

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