ALE（原子層エッチング）｜前工程 › エッチング

ALE（原子層エッチング）は、表面の薄い層だけを化学的に変質させる段と、変質した部分だけを除く段を交互に行い、層を少しずつ削るエッチング方法である。それぞれの段が自己停止するため、除去量はサイクル数で決まり、原子層の単位で制御できる。薄い層を加工するときに削りすぎて下地へ届くことを防ぎ、ダメージを抑えるために使われ、反応を連続して進める通常のRIEとは止まり方の制御が異なる。