チャネルリリース｜前工程 › エッチング

チャネルリリースは、SiとSiGeを交互に積んだ積層からSiGe層だけを選んでエッチングで抜き、Siのシートを宙に浮かせる工程である。抜いた隙間にゲートが入り込み、シートの4面を囲むGAA（ゲートオールアラウンド）構造が完成する。削る層と残す層がどちらもSi系の結晶でGeの有無しか違わず、狭い隙間を通してエッチングを進めるため、選択比とシートの支えを同時に満たす必要がある。