極低温エッチング（クライオエッチング）｜前工程 › エッチング › ドライエッチング › RIE（反応性イオンエッチング）

極低温エッチング（クライオエッチング）は、ウェーハを極低温まで冷やした状態で行うプラズマエッチングである。冷やすと穴の側面に付いた分子が離れにくくなって保護の膜として働き、側面での反応が抑えられる。底では入射する粒子のエネルギーで反応が続くため、深い穴でも側面を広げずにまっすぐ下へ掘り進められる。