直接接合（フュージョンボンディング）｜後工程 › ボンディング › ウェーハ接合

直接接合（フュージョンボンディング）は、接着剤やはんだを挟まずに、平坦で清浄な固体面どうしを密着させて接合する工程である。間に接合材がないため、薄い界面のまま部材を貼り合わせられる。接合面を研磨・洗浄し、必要に応じて表面を活性化してから初期接合し、接合後のアニールで界面の結合を強める。