ガラスフリット接合｜後工程 › ボンディング › ウェーハ接合

ガラスフリット接合は、ガラス粉末を含むペーストを接合部に形成し、加熱で軟化させてウェーハなどの部材を貼り合わせる工程である。接合層が表面の凹凸になじみやすく、可動構造を収める空間を囲む気密な封止に使われる。ペーストを塗って乾燥・焼成で有機成分を減らし、位置合わせした部材を加熱・加圧して接合し、冷却して固める。