イオンシャワー（広域イオン照射）｜前工程 › イオン注入

イオンシャワー（広域イオン照射）は、プラズマから引き出した広い面積のイオン流を、そのまま基板に照射する処理である。細いイオンビームを走査して打ち込む通常のイオン注入とは、イオンを当てる範囲と装置の構成が違い、大きな面に一度に照射できる。その反面、照射されるイオン種と深さの分布の管理が必要で、プラズマの状態と基板に実際に届く線量を合わせて評価する。