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ビルドアップ基板とは

ビルドアップ基板(Build-up Substrate)とは、絶縁層と銅配線を順に積み重ね、各層を微細なビアでつなぐ多層基板です。コアの上へ必要な配線層を追加し、チップ端子と外部端子を結びます。

層を増やすと配線を多く通せます。一方、層ごとの位置ずれや反りが積み重なるため、各層を作るたびにビアと配線の整合を確認します。

構造と工程の関係
絶縁層と配線を繰り返し積む絶縁コア層間ビア対象材料・信号周辺材料
下のランドへビアを合わせ、絶縁と配線を追加します。層数と各層の位置合わせを一緒に管理します。

ビルドアップ法は、絶縁層の積層、レーザービア加工、導体形成を繰り返して多層配線を作ります。ビアで一つ下の銅配線へ接続します。1

プリント基板の表面へ絶縁膜を加え、再配線層と同様に端子位置を配線でつなぎ替えます。ただし、基板のビルドアップ層とチップ上のRDLでは基材と加工寸法が異なります。

構造と工程の関係
ビアの位置ずれで接続面が減るランドの中央へ着地位置ずれで接続が狭い重なる部分対象材料・信号周辺材料
各層の位置ずれはビアの接続面積へ現れます。最終外観だけでなく内層の接続を確かめます。

コア配線の上へ絶縁フィルムを積層し、ビアを開けてデスミアを行います。銅の導電化、レジストのパターン形成、めっき、剥離と不要銅の除去を経て、次の層を加えます。2

ビア位置は下の銅ランドへ合わせます。層の追加で熱履歴も増えるため、絶縁膜の硬化と基板の反りを各層で確認します。

層間位置合わせ、ビア接続、絶縁膜の厚さと硬化、銅の密着、基板の反りを管理します。

最終の外観だけでは内層の接続不良を見つけにくいため、断面や導通試験を使います。上下の積層構成と銅の分布も反りへ影響します。

層を増やせば配線密度を上げられますが、製造回数と位置合わせの負担が増えます。配線設計、ビア配置、基材の熱特性を組み合わせて必要な層数を決めます。

ビルドアップ基板は何をする工程ですか?

絶縁層と銅配線を順に積み重ね、各層を微細なビアでつなぐ多層基板です。コアの上へ必要な配線層を追加し、チップ端子と外部端子を結びます。

どの段階で行いますか?

コア配線の上へ絶縁フィルムを積層し、ビアを開けてデスミアを行います。銅の導電化、レジストのパターン形成、めっき、剥離と不要銅の除去を経て、次の層を加えます。

何を管理しますか?

層間位置合わせ、ビア接続、絶縁膜の厚さと硬化、銅の密着、基板の反りを管理します。

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  1. 1
    味の素 ビルドアップ法の構造ajinomoto.com ・ 2026年10月12日閲覧 ↩
  2. 2
    味の素 ABFの加工工程ajinomoto.co.jp ・ 2026年10月12日閲覧 ↩