検査装置シェア、KLAが過半の56.5%｜KLA自社資料、Gartnerの2024年集計

KLAは2026年3月のInvestor Dayで、Gartnerの集計にもとづく2024年の検査・計測（プロセス制御）市場の自社シェアを56.5%とし、2位の会社は10%未満だと説明した。KLAの資料に従えば、この市場の過半をKLAが持つ。プロセス制御とは、ウェーハの欠陥、寸法、膜厚、重ね合わせを測って工程を管理することを指す。ASML、Applied Materials（AMAT）、日立ハイテク、SCREENは、残りの部分で製品を売っていることになる。

他社が首位を名乗るのは、もっと狭い区分だ。AMATは2021年の電子ビーム装置で50%を超えるシェアを、日立ハイテクはCD-SEMで約70%のシェアを示している。一方で、その電子ビームでは、KLAが売上を4.0〜5.3倍に増やした（講演の数字から計算）。3社の数字を品目ごとに並べると、この記事の見方では、各社は工程の位置で棲み分けるより、電子ビームと重ね合わせ計測という品目で重なっている。

3本の棒は、集計した会社も年も区分も違うので、長さどうしを比べられない。KLAはGartnerの2024年の集計、AMATはTechInsightsの2021年の集計（50%は下限）、日立ハイテクは同社が調査会社のデータから算出した値だ。

KLAは、検査・計測市場の過半を持ち、2位との差を広げたと説明する

KLAは2026年3月12日のInvestor Dayで、検査・計測市場の自社シェアを2024年に56.5%で、2021年から2ポイント上げた¹と示した。資料の出典はGartnerの2025年4月の集計だ。同社の半導体製品部門を率いるAhmad Khan氏は、2位との差は前回の4.5倍から6.5倍に開き、2位のシェアは10%を下回る²と述べた。

KLAは、シェアを上げた分野に光学検査、電子ビーム、先端パッケージ、レチクル検査を挙げる。同じ資料でKLAが示すプロセス制御の集約度（ウェーハ装置市場に対するKLAの検査・計測売上の比率）は、2025年に7.4%だ。各社の代表的な装置が何を測るかは、検査・計測装置の比較で並べた。

電子ビームの装置では、AMATが2021年に過半を持ち、KLAが売上を伸ばしている

電子ビームの装置で首位を名乗るのはAMATだ。AMATは2022年12月の発表で、2021年の電子ビーム装置の売上が10億ドルを超え、この区分のシェアは50%を超えるとした³。出典はTechInsightsの2022年4月の集計だ。同じ発表で、レビュー装置SEMVision G10はGAAトランジスタを作るすべての顧客に開発用の標準装置として選ばれ、売上は4億ドルを超えたという。

KLAはこの区分に後から入った。Khan氏によれば、前回の講演の時点でKLAの電子ビームの売上は7,500万〜1億ドルだったが、今は4億ドルになった²。この数字から計算すると、4.0〜5.3倍だ。同氏は理由として、3D構造に埋もれた欠陥を探す用途と、多数ある光学検査装置の設定に電子ビームの画像を使う用途を挙げた。

ASMLは、計測・検査装置全体の2025年の売上を8億2,500万ユーロ、前年比28%増とした⁴。この数字は電子ビームだけでなく光学のYieldStarを含む。ASMLは増加の理由をYieldStarと電子ビーム装置の販売増とし、複数の電子ビームで検査する装置の採用が広がっていると説明した。

電子ビームで寸法を測るCD-SEMでは、日立ハイテクが首位を名乗る。同社は、CD-SEMの累計出荷が6,000台を超え、世界市場で約70%のシェアを持つとする⁵。このシェアは、同社が調査会社のデータから算出した値だ。AMATもPROVision 10を⁶、長年のCD-SEMの技術にもとづく電子ビーム計測装置と説明しており、電子ビームで寸法を測る品目で日立ハイテクと重なる。電子ビームと光学の計測がどう組み合わさって使われるかは、電子ビームと光学の重ね合わせ計測の役割で扱った。

重ね合わせ計測では、KLAとASMLがどちらも露光機の補正に向けた光学装置を出す

重ね合わせ計測では、KLAとASMLがどちらも露光機の補正に向けた光学装置を売る。KLAはArcher 800について⁷、製品上の重ね合わせ誤差を測り、露光機の高次補正に向けて測定点を増やせると説明する。ASMLのYieldStar 380Gは⁸、現像後の重ね合わせとフォーカスを測り、露光機の安定性と号機間のそろい方の管理に使う。ASMLは、露光機が全ウェーハで測る位置データとYieldStarの値を組み合わせて、重ね合わせの性能を10〜20%改善できるとする。両社の装置が同じ現像後の工程で競うかは、重ね合わせのずれを測り直す時点と装置で検討した。

SCREENとレーザーテックは、別の品目に製品を置く

SCREENの計測・検査装置は、先端の電子ビームや重ね合わせの品目とは別の場所にある。膜厚計測装置のRE-3500は⁹、同社の製品ページでIoT向けの電子デバイスを支える計測装置とされ、膜厚と光学定数を同時に測る。パターン検査装置のZI-3600¹⁰は1 µm以下の欠陥を見つけ、寸法と重ね合わせの測定を追加できる。

マスクの検査も検査・計測市場の一部で、KLAはレチクル検査でシェアを上げたとする。EUVマスクを露光と同じ13.5 nmの光で検査する装置はレーザーテックが作り、その仕組みはLasertec ACTIS A200HiTの解説にある。

3社の数字を品目ごとに並べると、棲み分けより重なりが目立つ

3社の数字は集計の会社も年も違うが、品目ごとに並べると、この記事の見方では次のようになる。検査・計測全体では、KLAの資料に従えばKLAが過半を持ち、2位は10%未満にとどまる。電子ビームでは、AMATが2021年に過半を持っていたとし、KLAはその後に電子ビームの売上を4億ドルまで伸ばしたとする。ASMLは、複数ビームの検査装置の採用が広がっていると説明する。重ね合わせ計測では、KLAとASMLがどちらも露光機の補正に向けた光学装置を出す。1社が7割前後を持つ品目として残るのは、日立ハイテクのCD-SEMだ。

関連ページ

• 装置・品質KLA・ASML・AMAT・SCREENの検査・計測装置の比較
• 装置・品質重ね合わせのずれを測り直す時点と装置
• 装置・品質電子ビームと光学の重ね合わせ計測の役割
• 装置・品質電子ビーム計測の測定密度
• 前工程High-NA EUVを支えるASML以外の供給元
• 装置・品質工程別の装置シェアと競争構造
• 企業研究企業研究：KLA
• 企業研究企業研究：Applied Materials
• 企業研究企業研究：ASML
• 企業研究企業研究：日立ハイテク

出典

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1. 1
   KLA：Investor Day 2026 資料、プロセス制御市場のシェア（2026年3月）d1io3yog0oux5.cloudfront.net ↩
2. 2
   KLA：Investor Day 2026 講演録、2位との差と電子ビームの売上（2026年3月）d1io3yog0oux5.cloudfront.net ↩ab
3. 3
   Applied Materials：電子ビーム装置の売上とシェア、SEMVision G10の発表（2022年12月）ir.appliedmaterials.com ↩
4. 4
   ASML：2025年Q4・通期の投資家資料、計測・検査装置の売上（2026年1月）ourbrand.asml.com ↩
5. 5
   日立ハイテク：会社データ、CD-SEMの累計出荷とシェアhitachi-hightech.com ↩
6. 6
   Applied Materials：PROVision 10の製品仕様appliedmaterials.com ↩
7. 7
   KLA：計測装置の製品一覧（Archer 800）kla.com ↩
8. 8
   ASML：YieldStar 380Gの製品仕様asml.com ↩
9. 9
   SCREEN：RE-3500 分光エリプソ膜厚測定装置の製品仕様screen.co.jp ↩
10. 10
    SCREEN：ZI-3600 ウェーハパターン検査装置の製品仕様screen.co.jp ↩