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デスミア(ビア内残渣除去)とは

デスミア(Desmear)とは、基板へ穴を開けた際にビアの内壁や底面へ残る樹脂汚れを除き、めっきと電気接続に必要な表面を整える工程です。 パッケージ基板や多層プリント基板のビアを清浄化し、無電解銅めっきへつなぎます1。

樹脂を多く除けば残渣は減ります。一方、穴の形や表面粗さも変わります。後の銅めっきが密着し、内層の銅と導通する状態へ整えることが目的です。

穴あけで残る樹脂が、銅との接続を妨げる

Section titled “穴あけで残る樹脂が、銅との接続を妨げる”
ビアの表面を整える
ビア底の樹脂残渣を除き、銅を露出させる穴あけ後デスミア後銅を樹脂が覆う銅へ接触できる面絶縁樹脂銅残渣・反応
穴あけで残った樹脂が銅の接続面を覆うと、その上へ銅を析出させても接続が不安定になります。樹脂を除いて底面を露出させます。

多層プリント基板の絶縁樹脂をドリルやレーザーで加工すると、軟化した樹脂や加工残渣が内壁・底面へ付くことがあります。このスミアが内層の銅を覆うと、ビアの銅と内層配線の接触を妨げます。

デスミアは、残渣を除くだけでなく、後の無電解めっきで銅を付ける表面も整えます。穴の中まで薬液が届き、除去物が排出されることが必要です。

湿式では、膨潤と樹脂粗化と中和を組み合わせる

Section titled “湿式では、膨潤と樹脂粗化と中和を組み合わせる”
ビアの表面を整える
膨潤、樹脂の粗化、中和を順に行う膨潤・浸透樹脂を酸化・粗化中和・洗浄絶縁樹脂銅残渣・反応
湿式の例では、膨潤剤で樹脂へ液を浸透させ、粗化剤で表面を処理し、中和して次のめっき前処理へ渡します。材料ごとに除去量と表面状態を合わせます。

上村工業は、デスミア膨潤剤、過マンガン酸ナトリウムを使う樹脂粗化剤、中和剤を別の薬品としてそろえています2。湿式の例では、樹脂へ液を浸透させ、酸化・粗化を行い、中和と水洗を済ませて、触媒付与や無電解銅めっきへ渡します。

粗化の役割は、樹脂表面と銅膜の密着を保てる状態を作ることです。樹脂の組成やフィラー、穴の形が変われば、同じ液でも除去量と表面形状は変わります。

残渣、穴の形、めっき密着を合わせて確認する

Section titled “残渣、穴の形、めっき密着を合わせて確認する”

断面観察では、底面に樹脂が残っていないか、内層銅が露出しているか、穴の径や深さが設計から外れていないかを確認します。めっき後には銅の被覆と密着、ビアの導通も調べます。

デスミアだけで穴の仕上がりを判断せず、穴あけとめっきの間で原因を切り分けます。ビアの底面が清浄でも、薬液の交換や気泡の排出が不十分なら、めっきのむらや未析出が残ることがあります。

除去を強めると残渣を減らせますが、樹脂の削れ、穴形状の変化、銅の損傷が増える場合があります。残渣除去と寸法保持を両立させ、後の銅膜の密着と電気接続まで確かめます。

デスミアはいつ行いますか?

基板へ穴を開けた後、触媒付与や無電解銅めっきの前に行います。穴の内壁や底面へ残った樹脂を除きます。

デスカムとの違いは何ですか?

デスミアは主に基板の穴あけで残った樹脂汚れを対象にします。デスカムは現像後のレジスト開口に残る薄い残渣を除く工程です。

何を管理しますか?

樹脂の除去量、穴の形、銅の露出、後のめっき密着と導通を管理します。

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  1. 1
    Atotech デスミアとメタライズatotech.com ・ 2026年10月12日閲覧 ↩
  2. 2
    上村工業 デスミアプロセスuyemura.co.jp ・ 2026年10月12日閲覧 ↩