EPMA（電子プローブマイクロ分析）｜検査・計測 › 計測 › 材料・表面分析

EPMA（電子プローブマイクロ分析）とは、細く絞った電子線で試料の微小領域を励起し、放出される特性X線の波長と強度から¹元素の種類と量を求める分析法である。主に分光結晶で波長を選ぶ波長分散型（WDX）の分光器で測り、元素の比まで定量でき、膜の組成が狙いからずれていないかを追う場面で使われる。X線をエネルギーで分けるEDXより線が細く、近い元素どうしが重なりにくい。