SIMS（二次イオン質量分析）｜検査・計測 › 計測 › 材料・表面分析

SIMS（二次イオン質量分析）とは、固体試料に一次イオンのビームを当て、表面から弾き出された二次イオンを質量で分けて検出する分析法である。表面近くの元素や分子種を高い感度で検出でき、表面を削りながら測り続けることで、注入した不純物などの深さ方向の分布が得られる。微量の不純物を深さごとに追えることが、ほかの表面分析と比べたときに選ばれる理由である。